クリーンルーム|保有洗浄方法

クリーンルームとは

微細なパーティクル(粒子)を制御している部屋です。

純水超音波洗浄

純水超音波洗浄

精密な仕上がりを要求される部品の
イオン化物除去に使用します。

半導体製造装置部品、電子部品、
医療用製造部品に使用します。

対応可能サイズ 1000x1000x500

クリーンオーブン

クリーンオーブン

精密な仕上がりを要求される部品の
クリーン乾燥に使用します。

微細なパーティクルを制御するため、
純水超音波洗浄後にクリーン乾燥が必要です。

対応可能サイズ 800x1100x700

真空パック

真空パック

精密な仕上がりを要求される部品の
クリーンパックに使用します。

クリーンルームで真空パックした製品は、
一般の環境に移動されてもクリーン度は保持され
エンドユーザー様のクリーンルームで
安心して開封する事ができます。

対応可能サイズ 幅:1000程度

超純水製造装置

超純水製造装置

精密な仕上がりを要求される部品には、
欠かせない設備です。
2基保有しクリーンルームだけではなく
粗洗浄水もこの装置から供給しています。

超純水である必要は、部品に付着する
陽イオン及び陰イオンを溶出させる
ためです。

純水規格
比抵抗値:18MΩ
液中パーティクル:10個以下
0.2μm/ml

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