純水超音波洗浄
精密な仕上がりを要求される部品の
イオン化物除去に使用します。
対応可能サイズ １０００ｘ１０００ｘ５００
クリーンオーブン
精密な仕上がりを要求される部品の
クリーン乾燥に使用します。
対応可能サイズ ８００ｘ１１００ｘ７００
真空パック
精密な仕上がりを要求される部品の
クリーンパックに使用します。
対応可能サイズ 幅：１０００程度
超純水製造装置
精密な仕上がりを要求される部品には、
欠かせない設備です。
２基保有しクリーンルームだけではなく
粗洗浄水もこの装置から供給しています。
純水規格
比抵抗値：１８ＭΩ
液中パーティクル：１０個以下
０．２μｍ／ｍｌ
