純水超音波洗浄
精密な仕上がりを要求される部品の
イオン化物除去に使用します。
対応可能サイズ 1000x1000x500
クリーンオーブン
精密な仕上がりを要求される部品の
クリーン乾燥に使用します。
対応可能サイズ 800x1100x700
真空パック
精密な仕上がりを要求される部品の
クリーンパックに使用します。
対応可能サイズ 幅:1000程度
超純水製造装置
精密な仕上がりを要求される部品には、
欠かせない設備です。
2基保有しクリーンルームだけではなく
粗洗浄水もこの装置から供給しています。
純水規格
比抵抗値:18MΩ
液中パーティクル:10個以下
0.2μm/ml